[发明专利]探针卡管理装置及管理系统在审
| 申请号： | 202310397875.9 | 申请日： | 2023-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN116393387A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 韩浩 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;G01R1/073;B07C5/344 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 李冬梅 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种探针卡管理装置及管理系统，探针卡管理装置用于管理应用于半导体测试设备的探针卡，探针卡管理装置包括存储部和机械臂，存储部用于存放探针卡，并将待使用探针卡的温度调节至预设使用温度，机械臂用于搬运待使用探针卡至半导体测试设备。本公开中，存储部能够将待使用探针卡的温度提前调节至预设使用温度，机械臂可以直接搬运预设使用温度的待使用探针卡至半导体测试设备，减少了高低温切换所需的时长，缩短了更换探针卡所需的时间，增加了半导体测试设备的正常作业时长，利于提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 管理 装置 系统 | ||
【主权项】：
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