[发明专利]真空吸附装置及真空样品驱动系统在审
| 申请号： | 202310396282.0 | 申请日： | 2023-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN116892001A | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;杨贺鸣;陈飞 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京瑞华腾知识产权代理事务所(普通合伙) 32368 | 代理人： | 邱欢欢 |
| 地址： | 201900 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供了一种真空吸附装置及真空样品驱动系统，包括：主体，所述主体中空并且包括位于内侧的支承表面；以及一个或多个吸附板，所述吸附板设置在所述支承表面上，并且包括设置在表面上的吸附材料，用于吸附气体。真空样品驱动系统包括：驱动真空腔；样品架，位于驱动真空腔外，用于承载样品；第一驱动轴，近端设置在驱动真空腔内，远端与样品架固定连接；传动磁组件，设置在第一驱动轴近端；驱动磁组件，设置在驱动真空腔外，且与传动磁组件磁耦合，以驱动传动磁组件运动，带动第一驱动轴和样品架运动，以及真空吸附装置，套设在第一驱动轴外。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 装置 样品 驱动 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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