[发明专利]异形透明元件中镀膜厚度均匀性的测试方法及其测试装置在审
| 申请号： | 202310371020.9 | 申请日： | 2023-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116538966A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 陈鸿武;陈洁;郑博达;汪聪;曾西;姜国康;马登元 | 申请（专利权）人： | 浙江大华技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/06 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 盛影影 |
| 地址： | 310051 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种异形透明元件中镀膜厚度均匀性的测试方法及其测试装置。该测试方法包括：采用光源照射异形透明元件，并采用接收器采集通过所述异形透明元件的光，并与所述光源发出的光进行对比，得到异形透明元件一个测试点的透过率，其中，所述光源发射出的光的直径小于或者等于1mm；移动所述异形透明元件，采集得到异形透明元件多个测试点的透过率；根据所有测试点的透过率，计算得到平均透过率；分别计算每一测试点的透过率相对于平均透过率的变化率；根据变化率判断所述异形透明元件中镀膜的厚度均匀性。该测试方法能够降低异形区域的散射干扰，减小测量误差，准确测得异形透明元件中镀膜厚度均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 异形 透明 元件 镀膜 厚度 均匀 测试 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
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