[发明专利]La-Sn共掺杂钛酸铋基铁电薄膜及其制备方法

摘要

La‑Sn共掺杂的钛酸铋基铁电薄膜，该铁电薄膜材料的化学式为Bi4‑xLaxTi3‑ySnyO12，其中0＜x≤1，0＜y≤0.1。其制备方法步骤为：配制溶胶→制备前驱膜→快速热处理→铁电薄膜；该方法以水合硝酸铋、硝酸锡、水合硝酸镧和钛酸正四丁酯为前驱物，以柠檬酸为溶剂，以EDTA为螯合剂配制前驱液，经旋转涂覆后快速热处理制得光滑致密的Bi4‑xLaxTi3‑ySnyO12薄膜。该薄膜与Bi4Ti3O12和Bi4‑xLaxTi3O12薄膜相比，具有显著提高铁电剩余极化值和抗疲劳性能，该薄膜的制备工艺简单，无须昂贵的过渡金属有机盐，从而使其在非易失性铁电存储器领域具有广阔的应用前景。