[发明专利]用于测试机台中的测试电压补偿方法、装置及介质在审
申请号: | 202310352899.2 | 申请日: | 2023-04-04 |
公开(公告)号: | CN116298814A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 赵中阳 | 申请(专利权)人: | 上海精积微半导体技术有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/28 |
代理公司: | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人: | 吴浩 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于测试机台中的测试电压补偿方法、装置及介质,所述电压测试机台的测试电压补偿方法包括:基于初始测试电压对目标待测器件进行初始测试,以获取目标待测器件的相应测试电路的总电阻;确定第三测试通道,将所述第一测试通道、所述第二测试通道和所述第三测试通道基于两两短路接通形成对应的通道组,获取通道组各自的电阻并联立电阻方程组以计算第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻;基于目标待测器件的相应测试电路的总电阻以及所述第一测试通道的电阻和所述第二测试通道的电阻,计算所述初始测试电压补偿后的目标电压。本发明能够对待测器件施加更精确的电压,提高测试结果的准确性。 | ||
搜索关键词: | 用于 测试 机台 中的 电压 补偿 方法 装置 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
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