[发明专利]一种性能动态可调的光纤F-P腔MEMS传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310351765.9 | 申请日： | 2023-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN116625417A | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 马志波;李若飞;王嘉言;苑伟政 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G01L1/24;G01L11/02;G01D5/38;G03F7/20;B81B7/02;B81C1/00;B24B37/04;C30B33/12;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京亿知臻成专利代理事务所(普通合伙) 16123 | 代理人： | 戚红 |
| 地址： | 710000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种性能动态可调的光纤F‑P腔MEMS传感器及其制备方法，属于光纤传感器技术领域，包含蓝宝石敏感结构、蓝宝石衬底结构、光纤套管、导模共振光栅、F‑P腔和光纤、高折射率介质层，本发明通过在蓝宝石表面引入导模共振光栅以实现蓝宝石界面反射光谱的优化，进而可以针对不同的解调方法设计并调控F‑P干涉具的光谱精细度，以实现传感器性能调控。相较于传统的在F‑P腔传感器敏感结构表面镀制具有固定反射率的金属反射膜等方式，本发明能够实现界面反射率调节，以实现传感器面向不同测试应用场景的动态性能调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性能 动态 可调 光纤 mems 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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