[发明专利]一种监测残氧浓度的浓差式氧传感器及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310348822.8 申请日: 2023-04-04
公开(公告)号: CN116223590A 公开(公告)日: 2023-06-06
发明(设计)人: 高峰;孙志檬;初菲;刘皓;孙俊杰 申请(专利权)人: 明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司;明石创新产业技术研究院有限公司
主分类号: G01N27/409 分类号: G01N27/409;G01N27/30
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 马国冉
地址: 264006 山东省烟台市经济*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种监测残氧浓度的浓差式氧传感器及其制备方法,其中,浓差式氧传感器的结构自上而下依次为:Al2O3基片、上层多孔Pt电极、钇稳定氧化锆固体电解质、下层多孔Pt电极、回字形致密钇稳定氧化锆层、Al2O3绝缘层和加热电极,其中,上层多孔Pt电极和下层多孔Pt电极上各连接有一根导电丝、加热电极上连接有两根导电丝,加热电极呈S形排布。本发明的有益之处在于:该浓差式氧传感器结构简化,加热均匀,能够在低氧环境中准确监测残氧浓度。
搜索关键词: 一种 监测 浓度 浓差式氧 传感器 及其 制备 方法
【主权项】:
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