[发明专利]一种废气处理设备及其控制方法

摘要

本发明提供了一种废气处理设备及其控制方法，涉及泛半导体技术领域，用以解决废气处理设备中监测口因气体扰动容易堵塞的问题，从而大幅延长设备维护周期，降低了维护成本。该废气处理设备包括：至少一个进气管单元；所述进气管单元包括：进气管路和负压监测管路；其中，所述进气管路包括进气管，所述进气管的管壁设置多个监测口；所述负压监测管路包括监测管，所述监测管包括至少一个进口和多个出口，各所述出口分别与不同的所述监测口连通；所述进口被配置为：在所述负压监测管路处于工作状态的情况下，接收防扰气体，以使得所述监测管内部保持气体流动。