[发明专利]用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法在审
| 申请号： | 202310331702.7 | 申请日： | 2023-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN116382041A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 王建勋;刘维龙 | 申请（专利权）人： | 广东思沃激光科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱丽兰 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其包括：S1、检测第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处是否存在重叠，及沿y方向的拼接处是否存在错位；S2、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿；S3、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿；本发明采用软件补偿的方式代替传统对DMD单元安装位置的调整，有效简化重叠、错位的补偿工序，并能够大大提高重叠、错位的补偿精度，从而大大提升曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 ldi 曝光 设备 gds 图形 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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