[发明专利]一种超声波指纹模组及其制备方法在审
| 申请号： | 202310325219.8 | 申请日： | 2023-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN116390622A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李萍;邱欢 | 申请（专利权）人： | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/02 | 分类号： | H10N30/02;H10N30/045;H10N30/88;G06V40/13 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王震 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供一种超声波指纹模组及其制备方法，涉及指纹识别技术领域，包括在基板的焊盘区形成绝缘层；在基板上形成压电层，压电层覆盖绝缘层和绝缘层之外的区域；对压电层进行极化；刻蚀极化后的压电层，使焊盘区露出；在压电层上除焊盘区之外的区域形成导电层；在导电层上形成保护层。在基板上旋涂压电材料之前先旋涂一层绝缘材料，采用光刻方式让绝缘材料留在焊盘区，在基板整面有压电层、无需治具掩膜情况下直接极化；极化前将焊盘区通过绝缘层保护住，避免极化过程被击穿，直接极化无需使用要求极高的治具，极大程度提高产品性能、良率及产品可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超声波 指纹 模组 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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