[发明专利]用于定位荫罩的装置和方法在审
| 申请号： | 202310319456.3 | 申请日： | 2023-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116893584A | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 约翰内斯·菲利克斯·霍尔格·施米特;扬·索姆布翁;斯特凡·布莱尔;多米尼克·霍格诺尔 | 申请（专利权）人： | ABB瑞士股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于定位荫罩的装置，该装置包括罩施加工具，该罩施加工具包括内部主体，该内部主体在内部主体的端表面上包括一个或多个磁体。罩施加工具还包括用于接纳内部主体的中空外部主体，该外部主体包括在外部主体的端表面处的罩插口和用于将罩施加工具定位在基板托盘上的一个或多个导向元件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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