[发明专利]一种亚衍射光学点阵生成方法、装置及存储介质在审
申请号: | 202310313013.3 | 申请日: | 2023-03-15 |
公开(公告)号: | CN116387122A | 公开(公告)日: | 2023-07-04 |
发明(设计)人: | 屈军乐;权小娟;于斌;林丹樱;张晨爽 | 申请(专利权)人: | 深圳大学 |
主分类号: | H01J37/10 | 分类号: | H01J37/10;H01J37/32;G02B27/00;G02B27/09 |
代理公司: | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人: | 廖厚琪 |
地址: | 518060 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供了一种亚衍射光学点阵生成方法、装置及存储介质。所述方法包括:S1:对第一复振幅分布进行傅里叶变换、振幅约束以及相位约束,得到对应于聚焦透镜输出平面的第二复振幅分布;其中,第一复振幅分布为对应于聚焦透镜输入平面的复振幅分布;S2:对第二复振幅分布进行逆傅里叶变换得到下一次迭代的第一复振幅分布,然后返回执行S1;S3:当迭代次数大于预设次数阈值时,根据下一次迭代的第一复振幅分布对应的相位分布,生成相应的亚衍射光学点阵。通过本申请方案的实施,在每次迭代过程中进行约束限制,从而得到亚衍射光学点阵,将该点阵引入2P‑MSIM系统可进一步提高分辨率和成像质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 衍射 光学 点阵 生成 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】:
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