[发明专利]一种基于超材料的太赫兹微流体传感器结构在审

专利信息
申请号: 202310312823.7 申请日: 2023-03-28
公开(公告)号: CN116297307A 公开(公告)日: 2023-06-23
发明(设计)人: 丛嘉伟;潘玉龙;周志强 申请(专利权)人: 江苏大学
主分类号: G01N21/3586 分类号: G01N21/3586;G01N21/3577;G01N21/41;G01N21/01
代理公司: 南京智造力知识产权代理有限公司 32382 代理人: 戴羽丰
地址: 212013 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供了一种基于超材料的太赫兹微流体传感器结构:依次设有金属反射盖板、微流体通道层、超材料金属谐振结构层、衬底;所述超材料金属谐振结构层表面设有金属孔阵列,沿金属孔阵列长度方向所述微流体通道层厚度递增;本发明传感器结构具有通过简单移动检测区域便能显著影响光谱谐振峰幅值的特性,可以用作相关测量液体折射率或浓度的传感器,能够实现待测液检测光谱强度可调谐功能,使得同一传感器可测量折射率的范围更宽。
搜索关键词: 一种 基于 材料 赫兹 流体 传感器 结构
【主权项】:
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