[发明专利]一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台在审
| 申请号： | 202310301684.8 | 申请日： | 2023-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN116359567A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 潘毅;张又麒;冯尧 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073;G01R1/04;G01R31/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台，包括适配真空旗形样品托传样的样品测量台、用于多端口电学测量的柔性微探针、防止超量驱动的进针凸轮机构；还包括用于一体集成的超高真空四通，密封连接有输出电信号的真空电连接机构、提供扭矩的探针驱动机构、真空外冷源和超高真空多维位移台输出端。本发明具有不遮挡样品核心区域、易对接超高真空系统并且适配多维位移的特点，可在真空原位实现探针与样品几乎无损、稳定的电连接，同时有效支持多场与多维度的协同调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高 真空 样品 集成 低温 输运 测量 | ||
【主权项】：
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