[发明专利]一种超高真空样品台与集成式低温输运测量台

权利要求书

1.一种超高真空样品台，其特征在于，包括样品测量台(6)和探针平台(606)；

探针平台(606)设置在样品测量台(6)前端一侧的上方，样品测量台(6)前端另一侧设置有样品(8)；

探针平台(606)底部采用多个带肩限位轴(609)穿过样品测量台(6)，带肩限位轴(609)与样品测量台(6)滑动连接，带肩限位轴(609)的轴肩位于样品测量台(6)下方，轴肩与样品测量台(6)底部之间设置有弹性部件，弹性部件始终给予探针平台(606)与样品测量台(6)相互靠近的力；

样品测量台(6)位于探针平台(606)中心正下方的区域中空设置，样品测量台(6)中空部位的两个侧壁之间转动连通有转轴(603)，转轴(603)上设置有凸轮机构，凸轮机构与探针平台(606)底部中心接触；

探针平台(606)设置有电路板(612)，电路板(612)上设置有多根柔性微探针(613)，柔性微探针(613)的针尖部位从探针平台(606)伸出，向下方样品(8)顶面延伸；当探针平台(606)位于最低点时，柔性微探针(613)的针尖部位与样品(8)顶部接触。

2.根据权利要求1所述的超高真空样品台，其特征在于，凸轮机构包括顶板(605)，顶板(605)靠近侧面区域嵌套在转轴(603)上，且该侧面为弧面；探针平台(606)底部中心连接有圆轮(608)，顶板(605)顶面与圆轮(608)周面底部接触。

3.根据权利要求2所述的超高真空样品台，其特征在于，探针平台(606)底部中心设置有凸块，凸块底部连接有圆轮轴(607)，圆轮轴(607)上转动连接有圆轮(608)，圆轮(608)周面底部与顶板(605)顶面接触。

4.根据权利要求1所述的超高真空样品台，其特征在于，柔性微探针(613)的材料为金、铍铜或不锈钢。

5.根据权利要求1所述的超高真空样品台，其特征在于，样品测量台(6)设置样品的一侧设置有样品托插槽(601)，样品托插槽(601)内滑动连接有旗形样品托(7)，样品测量台(6)上设置有用于固定旗形样品托(7)的固定装置。

6.根据权利要求5所述的超高真空样品台，其特征在于，固定装置采用带有弹性的样品固定压片(602)，样品固定压片(602)一端固定在样品测量台(6)上，另一端压在旗形样品托(7)顶面。

7.一种超高真空集成式低温输运测量台，其特征在于，包括超高真空四通(1)；

超高真空四通(1)的四通分别密封连接有真空电连接机构、探针驱动机构、真空外冷源和超高真空多维位移台输出端，超高真空四通(1)内部设置有权利要求1-6任意一项所述的超高真空样品台；

真空电连接机构连接电路板(612)，探针驱动机构输出端连接转轴(603)。

8.根据权利要求7所述的超高真空集成式低温输运测量台，其特征在于，探针驱动机构包括依次连接的真空外手轮(4-1a)、真空内轴杆(4-1b)、联轴器(4-2)、钢丝软轴(4-3)、从动轴(4-4)和第二齿轮，转轴(603)上设置有第一齿轮，第一齿轮和第二齿轮啮合形成齿轮副(4-6)。

9.根据权利要求7所述的超高真空集成式低温输运测量台，其特征在于，样品测量台(6)后端依次连接有对接固定件(6-3)、低温导管(5-2)和低温冷头(5-1)，低温冷头(5-1)连通有真空外冷源。

10.根据权利要求9所述的超高真空集成式低温输运测量台，其特征在于，低温导管(5-2)上嵌套有热沉支撑件(5-3)，热沉支撑件(5-3)上设置有电缆通道(5-3a)，真空电连接机构包括超高真空电缆(3-2)，超高真空电缆(3-2)穿过电缆通道(5-3a)与电路板(612)连接。