[发明专利]一种大范围高精度的实时表面形貌测量方法及系统在审
| 申请号： | 202310285024.5 | 申请日： | 2023-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN116242274A | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 赵敏;吕俊霞;张跃飞;佟翔宇;李睿 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 万慧华 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种大范围高精度的实时表面形貌测量方法及系统，属于表面形貌测量领域。在宏观表面扫描范围内控制样品按照宏观表面扫描步长进行水平面移动，待移动至微观局部扫描范围时，在微观局部扫描范围内控制样品按照微观局部扫描步长进行水平面移动，并在水平面移动过程中随时调整样品的垂向位移，使得反射光斑一直位于位置探测器的中心，根据记录的垂向位移调整值以及对应的扫描位置，输出当前扫描样品的表面形貌成像，并最终形成宏观表面的表面形貌成像和微观局部的表面形貌成像，实现了跨尺度范围的表面形貌成像与微观局部高精度成像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 范围 高精度 实时 表面 形貌 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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