[发明专利]弹性波器件、滤波器和多路复用器在审
| 申请号： | 202310265485.6 | 申请日： | 2023-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN116346073A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 宋崇希;姚远;姚艳龙;丁毅;龙峥 | 申请（专利权）人： | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/15 | 分类号： | H03H9/15;H03H9/13;H03H9/02;H03H9/54;H03H9/70 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 汤丽娅 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，涉及集成电路技术领域，所述弹性波器件包括：衬底；在所述衬底上层的压电层以及形成在所述压电层上方的IDT电极；所述衬底的欧拉角为(‑45°±10°，‑36°±10°，‑45°±10°)，或者，(‑45°±10°，‑36°±10°，‑225°±10°)；所述压电层的欧拉角为(0°±10°，130°±5°，0°±10°)，或者，(0°±10°，140°±5°，0°±10°)。解决了现有技术中产生的寄生声学模式会对影响器件的电气性能的问题，达到了可以通过衬底和压电层的欧拉角组合设置进而可以抑制寄生声学模式提高电气性能的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 器件 滤波器 多路复用 | ||
【主权项】：
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