[发明专利]弹性波器件、滤波器和多路复用器

说明书

本申请公开了一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，涉及集成电路技术领域，所述弹性波器件包括：衬底；在所述衬底上层的压电层以及形成在所述压电层上方的IDT电极；所述衬底的欧拉角为(‑45°±10°，‑36°±10°，‑45°±10°)，或者，(‑45°±10°，‑36°±10°，‑225°±10°)；所述压电层的欧拉角为(0°±10°，130°±5°，0°±10°)，或者，(0°±10°，140°±5°，0°±10°)。解决了现有技术中产生的寄生声学模式会对影响器件的电气性能的问题，达到了可以通过衬底和压电层的欧拉角组合设置进而可以抑制寄生声学模式提高电气性能的效果。

技术领域

本发明涉及一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，属于集成电路芯片技术领域。

背景技术

在电声谐振器中，由于压电效应，与压电材料组合的电极结构在电磁信号与声学RF信号之间转换。

然而，实际实现时，电极结构在产生所需的声学模式之外，还可能会激发寄生声学模式，而寄生声学模式会降低对应滤波器的性能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，用于解决现有技术中存在的问题。

为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：

第一方面，提供了一种弹性波器件，所述弹性波器件包括：

衬底；

在所述衬底上层的压电层以及形成在所述压电层上方的IDT电极；

所述衬底的欧拉角为(-45°±10°，-36°±10°，-45°±10°)，或者，(-45°±10°，-36°±10°，-225°±10°)；

所述压电层的欧拉角为(0°±10°，130°±5°，0°±10°)，或者，(0°±10°，140°±5°，0°±10°)。

可选的，所述衬底的欧拉角为(-45°±5°，-36°±5°，-45°±5°)，或者，(-45°±5°，-36°±5°，-225°±5°)。

可选的，所述压电层的欧拉角为(0°±5°，130°±4°，0°±5°)，或者，(0°±5°，140°±3°，0°±5°)。

可选的，所述衬底包括硅，所述压电层包括LiTaO3、LiNbO3、ZnO、A1N和PZT中的至少一种。

可选的，所述衬底和所述压电层之间设置有中间层，所述中间层包括：

高声速膜，设置在所述衬底上，所述高声速膜中传播的体波的声速高于所述压电层中传播的弹性波的声速；

低声速膜，设置在所述高声速膜上，所述低声速膜中传播的体波的声速低于所述压电层中传播的弹性波的声速。

可选的，所述衬底为上层设置高声速膜的高声速衬底，所述高声速衬底和所述压电层之间设置有低声速膜；

所述高声速膜中传播的体波的声速高于所述压电层中传播的弹性波的声速，所述低声速膜中传播的体波的声速低于所述压电层中传播的弹性波的声速。

可选的，所述压电层的膜厚大于0.1λ，所述λ为将以所述IDT电极的电极指的周期确定的波长。

可选的，所述压电层为LiTaO3，所述LiTaO3的切割角为30°以上且60°以下。

第二方面，提供了一种滤波器，所述滤波器包括第一方面所述的弹性波器件。

第三方面，提供了一种多路复用器，所述多路复用器包括第一方面所述的弹性波器件。