[发明专利]玻璃基板托盘平面度测量方法及系统在审
| 申请号： | 202310254042.7 | 申请日： | 2023-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN116358459A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 李青;李赫然;臧少杰;王金权;王义昌;周学文;赵小辉;刘世鹏;张彦龙;郭虎;赵祥;蔡冬利 | 申请（专利权）人： | 甘肃光轩高端装备产业有限公司;东旭集团有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京格式化知识产权代理事务所(普通合伙) 16096 | 代理人： | 王惠 |
| 地址： | 741000 甘肃省天水*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本公开提供一种玻璃基板托盘平面度测量方法及系统，属于玻璃基板托盘平面度测量技术领域。该方法包括步骤：设定沿第一方向呈队列布置的M个激光测距传感器沿其运动方向自起始点至终点的N个停顿点；其中，M、N为不小于2的自然数，所述第一方向与所述运动方向垂直；在所述M个激光测距传感器同步沿所述运动方向自所述起始点运动至所述终点扫过待测玻璃基板托盘时，获取每一所述激光测距传感器于每一所述停顿点的测量数据；基于所有的所述测量数据形成M*N网格图并视觉呈现。本公开智能化、自动化和精准度高且快捷简便易于实现，实现了玻璃基板托盘的平面度测量的快速、准确且高效。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 托盘 平面 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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