[发明专利]一种抛光组件及抛光设备有效
| 申请号： | 202310220270.2 | 申请日： | 2023-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN115922557B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 汝浩 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B7/22;B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 刘馨月 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种抛光组件及抛光设备，抛光组件包括抛光垫、分液部和清洗液供给部，抛光垫包括第一表面，第一表面上设置有至少一个沟槽，沟槽由抛光垫的中心区域延伸至抛光垫的边沿；分液部设置于中心区域，分液部构造有清洗液容腔，清洗液容腔与至少部分沟槽连通；清洗液供给部用以向清洗液容腔供给清洗液。本公开中的抛光组件可以对沟槽实现良好的清洁效果，以避免抛光垫的沟槽中的残留物对抛光垫造成污染、影响后续半导体结构的平坦化处理效果的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 组件 设备 | ||
【主权项】：
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