[发明专利]一种蒸镀装置在审
| 申请号： | 202310180467.8 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116145087A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 郭宝康;张国辉;胡永岚;陈旭 | 申请（专利权）人： | 固安翌光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 蔡舒野 |
| 地址： | 065500 河北省廊坊*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括：设置有蒸镀气体出口的蒸镀源存储装置；蒸镀气流导向装置包括导向通道；蒸镀气体出口的所在平面和待蒸镀基板的所在平面的高度差为第一距离，蒸镀气体出口的中心在待蒸镀基板的所在平面的正投影点和待蒸镀基板的中心之间的距离为第二距离；导向通道中的蒸镀气体的气流方向和蒸镀气体出口的所在平面的夹角大于等于第一距离和第二距离比值的反正切函数值，小于等于预设角度，预设角度的补角为第一距离与第三距离比值的反正切函数值，第三距离等于待蒸镀基板的中心到边缘的距离与第二距离的差值，第二距离和第三距离在同一直线，且位于待蒸镀基板的中心的同一侧。上述技术方案提高了蒸镀材料的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
【主权项】：
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