[发明专利]高纯石英坩埚的制备方法及其系统在审

专利信息
申请号: 202310179678.X 申请日: 2023-02-22
公开(公告)号: CN116177858A 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 陶飞;周勇;吴伟华;王洋洋;方志远;毛炳全 申请(专利权)人: 浙江美晶新材料有限公司
主分类号: C03B20/00 分类号: C03B20/00;C30B15/10
代理公司: 北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司 11642 代理人: 何平
地址: 312300 浙江省绍兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 公开了一种高纯石英坩埚的制备方法及其系统。该方法包括:将纯度大于99.99%的石英砂原料与钡粉进行混合以得到混合物料;对所述混合物料进行真空装料成型以得到石英坩埚透明层;以及,对所述石英坩埚透明层进行吹气熔制以得到高纯度石英坩埚。通过这样的方式,可以获得高纯度石英坩埚。
搜索关键词: 高纯 石英 坩埚 制备 方法 及其 系统
【主权项】:
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