[发明专利]一种提高WRe/TZM合金靶盘密度及密度均匀性的方法在审

专利信息
申请号: 202310175441.4 申请日: 2023-02-28
公开(公告)号: CN116174721A 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 仇治勤;王涛;方兴权;袁江胜;杨波;张意;胡忠娟;徐林;朱晓峰;唐开龙;罗建军;时晓明 申请(专利权)人: 安庆瑞迈特科技有限公司
主分类号: B22F5/00 分类号: B22F5/00;H01J35/10;H01J9/02;B22F1/052;B22F3/02;B22F3/10;B22F3/24
代理公司: 合肥超通知识产权代理事务所(普通合伙) 34136 代理人: 郑犇
地址: 246000 安徽省安庆市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种提高WRe/TZM合金靶盘密度及密度均匀性的方法,具体包括:制备两种WRe合金粉末并混合;制备两种TZM合金粉末并混合;压制混合后的WRe合金粉末与TZM合金粉末,得到WRe/TZM合金复合压坯;氢气保护,高温烧结得到WRe/TZM合金复合烧结坯;高温锻造得到WRe/TZM合金复合锻造坯;氢气保护,热处理得到WRe/TZM合金复合坯料;机械加工,得到WRe/TZM合金靶盘。采用本发明制造的WRe/TZM合金靶盘,其密度及密度均匀性均得到了提高,且不会出现靶面龟裂的缺陷,从而提高了CT球管用大容量旋转靶盘的性能和使用寿命。
搜索关键词: 一种 提高 wre tzm 合金 密度 均匀 方法
【主权项】:
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