[发明专利]一种提高WRe/TZM合金靶盘密度及密度均匀性的方法

权利要求书

1.一种提高WRe/TZM合金靶盘密度及密度均匀性的方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

S1.制备粉末颗粒尺寸单一峰值为2.0um分布的WRe合金粉末，以及粉末颗粒尺寸单一峰值为3.5um分布的WRe合金粉末；

S2.将两种粉末颗粒尺寸单一峰值分布的WRe合金粉末进行混合，制备成粉末颗粒尺寸双峰分布的WRe合金粉末，其中碳含量30ppm，氧含量230ppm，待用；

S3.制备粉末颗粒尺寸单一峰值为2.5um分布的TZM合金粉末，以及粉末颗粒尺寸单一峰值为4.5um分布的TZM合金粉末；

S4.将两种粉末颗粒尺寸单一峰值分布的TZM合金粉末进行混合，制备成粉末颗粒尺寸双峰分布的TZM合金粉末，其中碳含量为100-400ppm，氧含量230ppm，待用；

S5.将由所述步骤S2和S4分别对应制备成的WRe合金粉末和TZM合金粉末，压制成WRe/TZM合金复合压坯；

S6.采用氢气保护，对所述的WRe/TZM合金复合压坯进行高温烧结，得到WRe/TZM合金复合烧结坯；

S7.对所述的WRe/TZM合金复合烧结坯进行高温锻造，得到WRe/TZM合金复合锻造坯；

S8.采用氢气保护，对所述的WRe/TZM合金复合锻造坯进行热处理，得到WRe/TZM合金复合坯料；

S9.采用机械加工，将所述的WRe/TZM合金复合坯料加工至规定的尺寸，得到WRe/TZM合金靶盘。

2.根据权利要求1所述的一种提高WRe/TZM合金靶盘密度及密度均匀性的方法，其特征在于：所述的步骤S1和S3中，两种粉末颗粒尺寸单一峰值分布的WRe合金粉末均采用液-液法制备而成，两种粉末颗粒尺寸单一峰值分布的TZM合金粉末均采用液-固法制备而成。

3.根据权利要求2所述的一种提高WRe/TZM合金靶盘密度及密度均匀性的方法，其特征在于：采用液-液法制备两种粉末颗粒尺寸单一峰值分布的WRe合金粉末的方法为：

首先，采用钨酸铵和铼酸铵作为原料，按照WRe合金中的钨和铼的比例计算所需的各成分重量，将玻璃料杯放置在温度为80-90℃的水浴中，再向玻璃料杯中加入纯净水，分别配制钨酸铵溶液和铼酸铵溶液，并进行充分搅拌，直至钨酸铵和铼酸铵完全溶解，然后将铼酸铵溶液倒入钨酸铵溶液中，继续搅拌，直至水分蒸干，将玻璃料杯从水浴中取出，自然冷却至室温，得到固体颗粒；

然后，将固体颗粒送入烘箱，在120℃的温度下烘干，直至水分完全蒸干为止，取出后，用钨棒进行破碎，再用120目的标准筛过筛，得到粉末，待用；

制备单一峰值为2.0um分布的WRe合金粉末时，将过筛后的粉末装入烧舟中，每个烧舟装1000-5000g的粉末；然后，将装有粉末的烧舟送入氢气还原炉中，在800-920℃下还原3-5h，经冷却后过筛，得到单一峰值为2.0um分布的WRe合金粉末；

制备单一峰值为3.5um分布的WRe合金粉末时，将过筛后的粉末装入烧舟中，每个烧舟装1000-5000g的粉末；然后，将装有粉末的烧舟送入氢气还原炉中，在950-1100℃下还原1-3h，经冷却后过筛，得到单一峰值为3.5um分布的WRe合金粉末；

采用液-固法制备两种粉末颗粒尺寸单一峰值分布的TZM合金粉末的方法为：

首先，采用钼酸铵、钛粉、锆粉、石墨粉作为原料，按照TZM合金中钼、钛、锆和石墨的比例计算所需的各成分重量，将玻璃料杯放置在温度为80-90℃的水浴中，再向玻璃料杯中加入纯净水，然后加入钼酸铵，进行充分搅拌，直至钼酸铵完全溶解，随后依次将钛粉、锆粉、石墨粉倒入钼酸铵溶液中，不断搅拌，直至水分蒸干，将玻璃料杯从水浴中取出，自然冷却至室温，得到固体颗粒；

然后，将固体颗粒送入烘箱，在120℃的温度下烘干，直至水分完全蒸干为止，取出后，用钼棒进行破碎，再用120目标准筛过筛，得到粉末，待用；

制备单一峰值为2.5um分布的TZM合金粉末时，将过筛后的粉末装入烧舟中，每个烧舟装1000-3000g的粉末；然后，将装有粉末的烧舟送入氢气还原炉中，在600-800℃下还原3-5h，经冷却后过筛，得到单一峰值为2.5um分布的TZM合金粉末；

制备单一峰值为4.5um分布的TZM合金粉末时，将过筛后的粉末装入烧舟中，每个烧舟装1000-3000g的粉末；然后，将装有粉末的烧舟送入氢气还原炉中，在850-1000℃下还原1-3h，经冷却后过筛，得到单一峰值为4.5um分布的TZM合金粉末。