[发明专利]宽量程高精度宽温区的真空传感器批量标定系统及方法在审
| 申请号： | 202310161673.4 | 申请日： | 2023-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN116337325A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 陈凡红;杜晓辉;朱敏杰;刘帅 | 申请（专利权）人： | 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100055 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开是一种宽量程高精度宽温区的真空传感器批量标定系统及方法，该系统包括：多通道球形真空腔室，安装有标准真空传感器，用于对多个待标定真空传感器的批量标定；抽气回路，用于对多通道球形真空腔室进行抽真空；补气回路，对多通道球形真空腔室进行补气；PLC控制系统，根据多通道球形真空腔室的实际压强与预设目标压强的差值，调控抽气速率和补气速率，实现对多通道球形真空腔室中真空度的高精度调节。本公开利用宽量程标准真空传感器、开合角度可调的电动闸板阀和多量程质量流量计等协同配合，提升了真空系统压强值的精准性和调控的时效性，可对真空传感器进行满量程正反行程的测试和温度的调控，为真空传感器的准确标定测试提供了新思路。 | ||
| 搜索关键词： | 量程 高精度 宽温区 真空 传感器 批量 标定 系统 方法 | ||
【主权项】：
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