[发明专利]一种器件的翻转截面信息的获取方法在审

专利信息
申请号: 202310149627.2 申请日: 2023-02-21
公开(公告)号: CN116189753A 公开(公告)日: 2023-05-30
发明(设计)人: 樊瑞睿;秋妍妍;王丽娇 申请(专利权)人: 散裂中子源科学中心
主分类号: G11C29/56 分类号: G11C29/56;G06F17/12;G06F17/16;G06F30/25
代理公司: 广东众达律师事务所 44431 代理人: 张雪华
地址: 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区总部*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种器件的翻转截面信息的获取方法,其方法步骤如下:S1:通过在待测半导体存储器件之前设置一个中子慢化材料来改变入射到器件表面的中子能谱;S2:通过仿真及测量分别获得通过慢化材料后照射到器件表面的中子能谱;S3:进行器件在接受中子照射时发生翻转的概率计算;S4:进行解谱,对器件的翻转截面进行求解。本发明中,通过根据半导体存储器件对中子有固定的翻转截面,利用中子慢化材料改变入射到待测半导体存储器件表面的中子能谱,并使用仿真及测量得到通过慢化材料后辐照到器件表面的中子能谱,测试每次中子能谱改变后该器件的翻转次数,测试其在不同能谱下的翻转率,随后根据奇异值分解法进行求解。
搜索关键词: 一种 器件 翻转 截面 信息 获取 方法
【主权项】:
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