[发明专利]一种纳米薄膜温压复合传感器及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202310148739.6 | 申请日： | 2023-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN116337145A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 范敏;雷卫武;徐承义 | 申请（专利权）人： | 松诺盟科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;B82Y30/00;B82Y40/00;B82Y15/00;G01D5/16;C22C19/05;C22C27/06;C22C30/00;C23C14/34;C23C14/16 |
| 代理公司： | 湖南正则奇美专利代理事务所(普通合伙) 43105 | 代理人： | 肖琦 |
| 地址： | 410300 湖南省长沙市浏阳经济技术开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米薄膜温压复合传感器及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域；该复合传感器包括：引压嘴，引压嘴上设有引流通道和温敏元件安装槽口；引流通道用于传输被测量介质；引流通道连接芯体；芯体上设有压敏层，压敏层为NiCrS应变层；NiCrS应变层包括如下重量分数的元素：Ni 45%~55%、Cr 45%~55%和S 0.1%~3.5%；压敏层形成应变电阻；温敏层形成温敏电阻；温敏电阻和温敏元件均电连接有温度信号比较电路；温度信号比较电路电连接有信号调理电路。本发明通过设置两组独立的惠斯通电桥，从而提高了温压复合传感器的使用寿命，减少了故障率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 薄膜 复合 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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