[发明专利]一种适用于微区分析的样品共享定位平台在审

专利信息
申请号: 202310128765.2 申请日: 2023-02-17
公开(公告)号: CN116242868A 公开(公告)日: 2023-06-09
发明(设计)人: 周秦;程鹏;盖海峰;李腾飞;田辉 申请(专利权)人: 中国科学院广州地球化学研究所
主分类号: G01N23/2204 分类号: G01N23/2204;G01N23/04;G01N21/84
代理公司: 北京信宇创知识产权代理事务所(普通合伙) 16121 代理人: 程丹
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种适用于微区分析的样品共享定位平台,涉及样品分析领域。该适用于微区分析的样品共享定位平台,包括工作台和扫描电镜,所述工作台顶部设置有坐标参照轴,所述坐标参照轴与扫描电镜之间设置有限位环架、样本台、丝杆、正反电机、导向杆和液压缸。该适用于微区分析的样品共享定位平台,控制样本台移动使检测坐标点与观察坐标点重合,即可使前次进行检测时的视域移动到第二个工作台上透射电镜、FIB、光学显微镜、显微红外等设备检测光路中,通过限位环架、样本台、丝杆、正反电机、液压缸、触摸控制屏等零件组成样品共享定位平台,可以使样本台内部样本需要多次检测时被检测视域在同一位置,提高对样本检测的科学性和严谨性。
搜索关键词: 一种 适用于 区分 样品 共享 定位 平台
【主权项】:
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