[发明专利]一种共蒸方法及共蒸设备在审
| 申请号： | 202310115529.7 | 申请日： | 2023-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN116180018A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 裴泳镇;文炯敦;轩景泉;尹恩心;彭勃;池元圭;崔晶植;冯利凯 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王新哲 |
| 地址： | 201506 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种共蒸方法及共蒸设备，涉及真空蒸发镀膜技术领域。共蒸方法包括以下步骤：S1：分别向至少两列蒸发组件内注入不同的蒸镀材料；S2：分别调节每列蒸发组件内多个蒸发源与X方向的夹角，以使每个蒸发源均朝向基板中心，并使每个蒸发源在基板上形成对应的镀膜时，相邻的两个镀膜存在重叠部分；S3：分别调节每列蒸发组件内多个蒸发源与Y方向的夹角，以使每列蒸发组件均朝向基板的中心；S4：加热每列蒸发组件内的多个蒸发源，以使至少两种蒸镀材料在基板上凝聚成参杂层，当参杂层的厚度达到目标值时，停止加热并关闭挡板。本申请的共蒸方法可以有效提高蒸镀材料的使用效率，并且提高了参杂层的膜层厚度的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方法 设备 | ||
【主权项】：
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