[发明专利]一种锁紧定位装置及掩模传输装置在审
| 申请号： | 202310115381.7 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN116081203A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 刘颖;关宏武;王浩楠;符瑶;赵东雷 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B65G29/00 | 分类号： | B65G29/00;B65G47/22 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 毕翔宇 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及掩模传输技术领域，具体而言，涉及一种锁紧定位装置及掩模传输装置，包括驱动机构、定位销、检测机构和限位机构；所述驱动机构安装于所述固定支撑机构，所述驱动机构的驱动端与所述定位销连接，用于驱动所述定位销插入或脱出所述定位槽口，所述检测机构用于检测所述定位销是否位于所述定位槽口内；所述定位销插入所述定位槽口后，所述限位机构用于对所述定位销进行限位；其能够对掩模传输装置的旋转机构进行高精度地锁紧定位，且锁紧定位完成后不需要手动拆卸，标定完成后也不需要拆除，并且能够提高标定效率和重复定位精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 定位 装置 传输 | ||
【主权项】：
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