[发明专利]一种锁紧定位装置及掩模传输装置

权利要求书

1.一种锁紧定位装置，用于对掩模传输装置的旋转机构(1)进行锁紧定位，所述旋转机构(1)包括旋转电机(101)和定位板(102)，所述旋转电机(101)的固定部分固定于固定支撑机构(3)、旋转部分固定于所述定位板(102)，所述定位板(102)的外侧面开设有相对称的定位槽口(1021)，其特征在于，包括驱动机构(2)、定位销(4)、检测机构(5)和限位机构(6)；

所述驱动机构(2)安装于所述固定支撑机构(3)，所述驱动机构(2)的驱动端与所述定位销(4)连接，用于驱动所述定位销(4)插入或脱出所述定位槽口(1021)，所述检测机构(5)用于检测所述定位销(4)是否位于所述定位槽口(1021)内；

所述定位销(4)插入所述定位槽口(1021)后，所述限位机构(6)用于对所述定位销(4)进行限位。

2.根据权利要求1所述的锁紧定位装置，其特征在于，还包括曲柄连杆机构(7)，所述曲柄连杆机构(7)包括第一连杆(702)、第二连杆(703)、第一铰接块(701)和第二铰接块(704)，所述第一连杆(702)的一端设置第一铰接块(701)、另一端通过所述第二铰接块(704)与所述第二连杆(703)的一端铰接，所述第二连杆(703)的另一端与所述固定支撑机构(3)铰接，且所述第二连杆(703)上设置所述定位销(4)；

所述驱动机构(2)包括伺服电机(201)和偏心轴(202)，所述偏心轴(202)的一端与所述伺服电机(201)的输出轴连接、另一端与所述第一铰接块(701)铰接，所述伺服电机(201)用于带动所述第一铰接块(701)偏心旋转，同时带动所述定位销(4)跟随所述曲柄连杆机构(7)曲线运动而能够插入或脱出所述定位槽口(1021)。

3.根据权利要求2所述的锁紧定位装置，其特征在于，所述固定支撑机构(3)包括固定板、第一固定座(301)和第二固定座(302)，所述第一固定座(301)和所述第二固定座(302)均固定设置于所述固定板的底部；

所述第二固定座(302)与所述第二连杆(703)铰接；

所述第一固定座(301)包括安装板(3011)和连接板(3012)，所述安装板(3011)和所述连接板(3012)相连接后呈L型，所述连接板(3012)与所述固定板固定连接，所述安装板(3011)的内部开设有第一安装孔；

所述驱动机构(2)还包括设置于所述偏心轴(202)外侧的第一轴承(203)，且所述第一轴承(203)安装于所述第一安装孔内。

4.根据权利要求3所述的锁紧定位装置，其特征在于，所述第二连杆(703)的内部开设有第二安装孔(7031)，所述第二安装孔(7031)内安装第二轴承(7032)，所述第二轴承(7032)内安装第一转轴(7033)，所述第二固定座(302)上开设第三安装孔(3021)，所述第三安装孔(3021)内安装第三轴承(3022)，所述第一转轴(7033)的另一端安装于所述第三轴承(3022)内。

5.根据权利要求4所述的锁紧定位装置，其特征在于，还包括调平机构(8)，所述调平结构设置于所述第二固定座(302)与所述第二连杆(703)之间，且所述调平机构(8)用于保证所述曲柄连杆机构(7)和所述定位销(4)在水平方向运动。

6.根据权利要求5所述的锁紧定位装置，其特征在于，所述调平结构包括调平板(801)和多个调平螺栓(802)，所述调平板(801)的内部开设有穿孔，所述调平板(801)上还贯穿设置多个螺纹孔，所述调平螺栓(802)一一对应安装于所述螺纹孔；

所述穿孔内安装第四轴承，所述第一转轴(7033)穿设并安装于所述第四轴承，且多个所述调平螺栓(802)共同抵接于所述第二固定座(302)。