[发明专利]一种高效率低功耗电子源及其制备方法在审
| 申请号： | 202310113227.6 | 申请日： | 2023-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN116435160A | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 陈毅聪;宋圭辰;陈军;邓少芝;许宁生 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01J19/02 | 分类号： | H01J19/02;H01J9/18 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 苏晶晶 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高效率低功耗电子源及其制备方法。该高效率低功耗电子源包括阴极结构和阳极结构；所述阴极结构包括依次层叠设置的阴极基板、底层电极、绝缘层和顶层电极，所述底层电极与顶层电极重叠的部分具有尖端结构，所述绝缘层为氮化硼层，所述顶层电极为石墨烯电极；所述阳极结构包括层叠设置的阳极基板和阳极电极；所述阳极结构位于所述阴极结构的顶层电极一侧，所述阴极结构位于所述阳极结构的阳极电极一侧。该高效率低功耗电子源能够同时实现高发射效率和高单色性，且制备成功率高，可广泛应用于高精度电子显微镜、平行电子束刻蚀、平板X射线源和真空光热电能量转换器件中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效率 功耗 电子 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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