[发明专利]一种纳米颗粒复合磁光薄膜及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202310112256.0 | 申请日： | 2023-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN116288157A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 宋玉军;陈永刚;娄培阳 | 申请（专利权）人： | 杭州睿笛生物科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58;B22F9/24;B22F1/054;C23C26/00;B82Y25/00;B82Y30/00;G01N21/552;G01N21/21;G02F1/00;G02F1/09 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 金国栋 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市余杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种纳米颗粒复合磁光薄膜及其制备方法与应用，属于磁光薄膜制备和传感应用技术领域。采用磁控溅射方法在硅片上制备CoFeB/W薄膜作为基底，在薄膜上旋涂沉积金铂纳米颗粒层或者沉积金纳米颗粒层与覆盖层钨层。该方法通过将具有表面等离子体效应的金和具有高自旋轨道耦合效应的铂、钨结合，利用两种效应的协同作用，实现了CoFeB薄膜的纵向磁光克尔效应的增强。其作为敏感原件在生物分子传感器、病毒、细菌、生物功能分子及生物武器探测中具有较大的应用空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 颗粒 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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