[发明专利]一种双微腔光纤差压传感器及其制造、传感测量方法在审
| 申请号： | 202310096884.4 | 申请日： | 2023-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN116412952A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 冉曾令;何正熙;邱盛意;崔健馨;张飞;朱加良;李卓玥 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L13/00 | 分类号： | G01L13/00;G02B6/25 |
| 代理公司： | 四川仓颉律师事务所 51329 | 代理人： | 张勇;曹华 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双微腔光纤差压传感器，该传感器包括壳体、膜片、光纤插芯、光纤和引压口；所述壳体包括两对称设置的圆柱形金属体，所述两个圆柱形金属体中，相互靠近的底面为第一底面，相互远离的底面为第二底面，第一底面的中心处沿壳体轴线方向设置有内凹的弧面；本发明的双微腔光纤差压传感器的壳体内部空腔壁面为弧面，可以有效防止因差压值过大导致的膜片过度形变给膜片带来的损害，起到过载保护的作用；通过膜片表面的凹面结构汇聚膜片反射光，增大反射光强；光纤端面位于圆孔内，可增大法珀腔腔长，提高空间频率和解调精度；在相同腔长条件下，相对于其他差压传感器，本发明的传感器减少了感压介质的使用量和传感器的响应时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双微腔 光纤 传感器 及其 制造 传感 测量方法 | ||
【主权项】：
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