[发明专利]套刻标记结构及套刻偏移检测方法在审
| 申请号： | 202310093687.7 | 申请日： | 2023-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN116088282A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 陈呈;邱杰振;颜天才 | 申请（专利权）人： | 青岛物元技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 青岛清泰联信知识产权代理有限公司 37256 | 代理人： | 张媛媛 |
| 地址： | 266111 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路技术领域，提供一种套刻标记结构及套刻偏移检测方法。呈三角形结构的第一套刻标记图形和第二套刻标记图形；第一套刻标记图形和第二套刻标记图形形成在晶圆衬底的不同层，且，所述第一套刻标记图形的投影面积位于所述第二套刻标记图形投影的投影面积的范围内。可以通过量侧所述第一套刻标记和所述第二套刻标记图形的中心在X、Y、Z三个方向的偏移量得出套刻补偿数据，并根据该补偿数据对曝光机台进行补偿。本发明在套刻标记图形一个方向的图像存在损伤时，也不影响对偏差的判断，进而提高套刻标记图形的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 标记 结构 偏移 检测 方法 | ||
【主权项】：
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