[发明专利]自动转移生长的高温等离子真空封管系统及方法有效
| 申请号： | 202310090316.3 | 申请日： | 2023-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN116288737B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 王瑞;莫琴 | 申请（专利权）人： | 武汉是维光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 刘慧 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区华*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动转移生长的高温等离子真空封管系统及方法，涉及晶体材料生长技术领域，该系统包括：真空封管机；高温等离子烧结装置；多个装载有原材料的石英管；升降驱动机构；旋转驱动机构；连接臂，其一端设置于旋转驱动机构上，另一端设有转移机构；转移机构包括驱动齿轮，驱动齿轮与石英管上快卸螺纹管接头的齿轮部啮合；转移机构设有第一夹爪和第二夹爪；高温炉，内设有管体治具，管体治具上设有管状容置槽；第一夹爪用于夹持石英管并插放于多个管状容置槽中，以通过高温炉对多个石英管进行加温生长操作。本发明公开的系统可解决传统的晶体材料在进行封管及转移生长操作过程中存在安全隐患、适用性差且操作效率较低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 转移 生长 高温 等离子 真空 系统 方法 | ||
【主权项】：
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