[发明专利]一种多层光栅结构及其制作方法、光波导、近眼显示设备在审
| 申请号： | 202310075095.2 | 申请日： | 2023-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN116365684A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 罗润秋;赵谊华;谢李鹏;虎良可;胡海峰;宋强;马国斌 | 申请（专利权）人： | 深圳珑璟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H02J9/06 | 分类号： | H02J9/06;H02M3/07 |
| 代理公司： | 深圳市六加知识产权代理有限公司 44372 | 代理人： | 江晓苏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市深汕特别合作区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例涉及衍射光栅的制备技术领域，公开了一种多层光栅结构及其制作方法、光波导、近眼显示设备，多层光栅结构包括若干层光栅层，光栅层包括浮雕光栅和沉积层，该制备方法首先在波导基底上刻蚀形成浮雕光栅，然后在所述浮雕光栅上沉积形成沉积层，最后在所述沉积层上形成下一层波导基底，重复上述刻蚀、沉积、形成下一层波导基底的步骤，直至制备得到多层光栅结构，本发明制备出的多层光栅结构具有结构稳定、工艺简单的优点，且制备得到的多层光栅结构可实现多次衍射，衍射效率、耦合效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 光栅 结构 及其 制作方法 波导 显示 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳珑璟光电科技有限公司，未经深圳珑璟光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310075095.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
