[发明专利]半导体器件在审

专利信息
申请号: 202310058320.1 申请日: 2023-01-19
公开(公告)号: CN116779658A 公开(公告)日: 2023-09-19
发明(设计)人: 佃荣次;河合彻;天羽生淳 申请(专利权)人: 瑞萨电子株式会社
主分类号: H01L29/51 分类号: H01L29/51;H01L29/78
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 张宁
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 本公开涉及一种半导体器件。半导体器件被设置有包括半导体衬底、铁电层和半导体层的SOI衬底,并且具有在其中形成第一MISFET的第一区域。第一MISFET包括:在第一区域中的半导体衬底;在第一区域中的铁电层;在第一区域中的半导体层;第一栅极绝缘膜,被形成在第一区域中的半导体层上;第一栅极电极,被形成在第一栅极绝缘膜上;第一源极区,位于第一栅极电极的一侧并且被形成在第一区域中的半导体层中;以及第一漏极区,位于第一栅极电极的另一侧并且被形成在第一区域中的半导体层中。
搜索关键词: 半导体器件
【主权项】:
暂无信息
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