[发明专利]一种等离子切割的滤波器芯片AOI不良检测方法在审
| 申请号： | 202310040855.6 | 申请日： | 2023-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN116380930A | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 张健 | 申请（专利权）人： | 全讯射频科技(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/88 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 彭学飞;顾吉云 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及滤波器芯片技术领域，具体为一种等离子切割的滤波器芯片AOI不良检测方法，其能够方便有效的检测出缺陷不良问题，提高产品质量稳定性，步骤为：（a）将等离子切割后的滤波器晶圆芯片的正面朝上放置并在AOI检测设备的真空吸盘上固定；（b）开启AOI检测设备的光学镜头，对滤波器晶圆芯片进行光学影像对位，扫描出单颗目标芯片的标准形貌图以及晶圆芯片整体的芯片分布图；（c）对步骤（b）中扫描出的单颗目标芯片的标准形貌图进行不良缺陷图层设定；（d）对步骤（c）中设定的不良缺陷图层进行参数设定和算法设定；（e）对设置好参数和算法的待测晶圆芯片进行扫描并核查最终扫描结果的准确性；（f）输出目标晶圆芯片的良率结果和不良缺陷的分布图。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 切割 滤波器 芯片 aoi 不良 检测 方法 | ||
【主权项】：
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