[发明专利]一种深紫外光限幅材料的制备方法及应用在审
申请号: | 202310036770.0 | 申请日: | 2023-01-10 |
公开(公告)号: | CN116002687A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 刘国伟;王正平 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | C01B32/921 | 分类号: | C01B32/921;G02B5/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 李冉 |
地址: | 250100 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: |
本发明公开了一种深紫外光限幅材料的制备方法及应用,制备方法如下:S1,称量氢氟酸,称量Ti |
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搜索关键词: | 一种 深紫 限幅 材料 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
暂无信息
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