[发明专利]一种检测激光清洗光学元件表面杂质效果的方法在审
| 申请号： | 202310035310.6 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN115950907A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 杨国富;何旭东;何佳;姜菊;刘爱华;韩敬华;丁坤艳 | 申请（专利权）人： | 东莞飞创激光智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20091 | 分类号： | G01N23/20091;G01N23/2251;G01N21/73;G01N21/84;B08B7/00 |
| 代理公司： | 成都正德明志知识产权代理有限公司 51360 | 代理人： | 雷正 |
| 地址： | 523430 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种检测激光清洗光学元件表面杂质效果的方法，包括以下步骤：(1)激光辐照前后基材的元素变化分析；(2)激光辐照前后颗粒污染物的元素变化分析；(3)根据基底的变化情况和颗粒污染物的变化情况分析清洗效果。本发明主要用于激光清洗过程中，对杂质颗粒的清洗情况进行检测分析，首先通过激光辐照具有颗粒污染物的样品，得到损伤特性，分析其损伤形貌成因。同时对烧蚀过程中的等离子体光谱进行收集，以分析物质电离击穿过程。再采用扫描电镜对激光作用前后的颗粒污染物与基底形态进行观测，对元素种类和含量进行探测，用于物态变化分析。本发明提供的检测方法既可以用于激光清洗机理的分析，还可以用于激光清洗质量的监控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 激光 清洗 光学 元件 表面 杂质 效果 方法 | ||
【主权项】：
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