[发明专利]一种用于生产电子级多晶硅的涂层流化床反应器在审
| 申请号： | 202310025412.X | 申请日： | 2023-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN116020360A | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 朱共山;兰天石;蒋立民 | 申请（专利权）人： | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B01J8/18 | 分类号： | B01J8/18;C01B33/027 |
| 代理公司： | 国浩律师(南京)事务所 32284 | 代理人： | 耿欣 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于生产电子级多晶硅的涂层流化床反应器，所述涂层流化床反应器以等静压石墨为内衬材料，并通过在等静石墨内衬表面涂覆碳化硅涂层、氮化硅、碳纤维或复合材料来提升流化床内衬的抗磨损性能。并进一步对石墨筒体碳化硅涂层进行硅涂层，形成三层结构的二次保护，进一步减少外来杂质对反应区的污染，将产品质量提高至电子级多晶硅水平。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 电子 多晶 涂层 流化床 反应器 | ||
【主权项】：
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