[发明专利]X射线探测器、在线矿石成分分析设备及方法

摘要

本发明属于半导体技术领域，涉及一种X射线探测器、在线矿石成分分析设备及方法，X射线探测器包括PIN结构、封装在PIN结构外侧的真空保护窗和输出模块，在PIN结构与真空保护窗之间设有真空层；所述PIN结构包括P层、本征半导体层和N层，本征半导体层位于P层和N层之间，真空层位于P层和真空保护窗之间；真空保护窗为由轻元素材料制作而成、厚度≤100um的薄层；输出模块与PIN结构的P层连接，用于输出PIN结构经X射线照射产生的光电信号。本发明X射线探测器能够快速准确地探测X射线，将其应用于矿石成分分析中，能够快速准确探测X射线激发矿石产生的次级X射线，缩短探测时间，进而提高矿石成分分析的效率及准确性。