[发明专利]石英坩埚均匀壁厚的熔制方法在审
| 申请号： | 202310003840.2 | 申请日： | 2023-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN116199415A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 何玉鹏;李卫;陈荣贵;马万保;熊欢;王建军 | 申请（专利权）人： | 宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B19/09;C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 | 代理人： | 孙彦虎 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，将石英砂倒入石墨模具内，所述石墨模具包括旋转轴线，所述石墨模具可绕旋转轴线转动，将石英砂成型到转动的石墨模具的内壁，形成预制石英坩埚，将与水平面垂直的线设定为参考线，设置参考线与旋转轴线之间的角度为8‑15°，在石墨模具绕旋转轴线转动的同时，同步加热预制石英坩埚，使得预制石英坩埚融化成石英坩埚，通过设置参考线与旋转轴线之间的角度为8‑15°，改变石英砂离心力状态；当石墨模具旋转至最低点是，离心力向下，当石墨模具旋转至最高点时候，由于重力和离心力相互抵消，会减少石英砂的移动，进而解决了R部气泡的堆积和尺寸偏厚的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 坩埚 均匀 方法 | ||
【主权项】：
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