[发明专利]石英坩埚均匀壁厚的熔制方法

权利要求书

1.一种石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于，基于石英坩埚均匀壁厚的熔制设备，所述石英坩埚均匀壁厚的熔制设备包括石墨模具，所述石英坩埚均匀壁厚的熔制方法包括如下步骤：

将石英砂倒入石墨模具内，所述石墨模具包括旋转轴线，所述石墨模具可绕旋转轴线转动；

将石英砂成型到转动的石墨模具的内壁，形成预制石英坩埚；

将与水平面垂直的线设定为参考线，设置参考线与旋转轴线之间的角度为8-15°；

在石墨模具绕旋转轴线转动的同时，同步加热预制石英坩埚，使得预制石英坩埚融化成石英坩埚。

2.如权利要求1所述的石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于：所述石墨模具为石墨坩埚。

3.如权利要求1所述的石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于：所述石英坩埚均匀壁厚的熔制设备还包括第一电极，所述第一电极与参考线平行，将第一电极在石墨模具的上方或内腔放电弧，加热预制石英坩埚。

4.如权利要求3所述的石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于：所述石英坩埚均匀壁厚的熔制设备还包括至少两个第二电极，所述第二电极与第一电极相对倾斜。

5.如权利要求1所述的石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于：在预制石英坩埚融化成石英坩埚的过程中，先对水冷模具和石墨模具之间的内腔抽空，再停止抽空。

6.如权利要求1所述的石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于：在预制石英坩埚融化成石英坩埚的过程中，熔制时间为10-30min，熔制电流为2000-3000A，熔制温度为2000-2500℃。

7.如权利要求4所述的石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于：所述石英坩埚均匀壁厚的熔制设备还包括密封壳体、水冷模具、真空泵、过滤网筛，所述密封壳体中空，所述水冷模具内置于密封壳体中，所述水冷模具中空，所述水冷模具的顶部开口，所述石墨模具的底部嵌入水冷模具的开口端，所述石墨模具的外侧壁与水冷模具的内侧壁密封连接，在石墨模具上设于透气孔，在口气孔上覆盖过滤网筛，所述真空泵的入口与水冷模具和石墨模具之间的内腔连通。

8.如权利要求7所述的石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于：所述石英坩埚均匀壁厚的熔制设备还包括隔热板，所述隔热板设于石墨模具的上方，隔热板垂直于旋转轴线，所述第一电极、第二电极也内置于密封壳体中，所述第一电极、第二电极设于隔热板的上方，在隔热板的上设有插入孔，所述第一电极和第二电极的下端伸入插入孔。

9.如权利要求1所述的石英坩埚均匀壁厚的熔制方法，其特征在于：所述石英砂原料为天然石英砂原料或高纯合成石英粉原料。