[发明专利]多场扫描覆盖计量

摘要

一种计量工具可包含照明子系统以用两个或更多个照明光束照射两个或更多个获取场内的样本，其中所述两个或更多个获取场以非重叠配置沿扫描方向分布，且其中平移台沿所述扫描方向平移所述样本上的计量目标循序通过所述两个或更多个获取场。所述计量工具可进一步包含成像子系统以在沿所述扫描方向扫描所述样本时使所述两个或更多个获取场成像。所述成像子系统可包含场重定位光学中继器以将所述两个或更多个获取场的图像中继到扫描检测器，所述扫描检测器包含沿列方向分布的一或多个像素列，其中所述场重定位光学中继器沿所述列方向将所述两个或更多个获取场的所述图像定位于所述扫描检测器上。