[发明专利]紫外线激光产生装置在审
申请号: | 202280016813.2 | 申请日: | 2022-02-24 |
公开(公告)号: | CN116888528A | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 梅村信弘;神村共住;堀越秀春 | 申请(专利权)人: | 梅村信弘;学校法人常翔学园;东曹石英素材股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/39 | 分类号: | G02F1/39 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 董婷婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及波长399.08nm的紫外线激光产生装置,包含:激发光源部,其将波长1064.2nm的激光转换为二次谐波,生成532.1nm激光;光参量振荡部,其从532.1nm激光产生798.15nm信号光和1596.3nm空闲光;第一波长转换部,其使空闲光与532.1nm光进行和频产生,从而产生399.08nm光;以及第二波长转换部,其从信号光产生二次谐波(第一波长转换部以及第二波长转换部不分先后)。本发明涉及228.04nm紫外线激光产生装置,包含:399.08nm激光产生装置;以及第三波长转换部,其使399.08nm光与532.1nm光进行和频产生而产生228.04nm光。本发明提供作为深紫外线的一种的228.04nm激光的高效率且简易的产生装置和作为其光源的399.08nm激光的高效率且简易的产生装置。 | ||
搜索关键词: | 紫外线 激光 产生 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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