[实用新型]校准工装有效
| 申请号： | 202223584789.9 | 申请日： | 2022-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN219466196U | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 孙晓东 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 杨伟东 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供一种校准工装，包括：第一基准板，可拆卸设置在装载台的定位位置处，且第一基准板上构造有与晶圆的中心对应的第一定位孔，第一定位孔适于校准机械手的第一位置坐标；第二基准板，通过支撑组件设置在第一基准板的上方，第二基准板上构造有与第一定位孔正对的第二定位孔，第二定位孔适于校准机械手的第二位置坐标通过在第一基准板上构造与晶圆中心对应的第一定位孔。本实用新型提供的校准方式不仅能够精准定位机械手与晶圆传送盒的位置关系，且在机台外校准，便于校准时观察，并提高了维护人员校准时的安全性；极大地提高了对机械手的校准效率。 | ||
| 搜索关键词： | 校准 工装 | ||
【主权项】：
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