[实用新型]一种蒸镀坩埚及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202223552023.2 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN219156954U | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 崔晶植;冯利凯;文炯敦;尹恩心;轩景泉;裴泳镇;彭勃;池元圭;吕海超;陈浩 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 贾耀斌 |
| 地址： | 201506 上海市金山*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及蒸镀设备技术领域，提供了一种蒸镀坩埚及蒸镀装置。所述蒸镀坩埚包括围设形成容腔的坩埚本体，在所述坩埚本体的外侧面上设有多个第一防呆槽与多个第二防呆槽，多个所述第一防呆槽仅能与预设蒸发源上的多个第一防呆件连接；多个所述第二防呆槽仅能与所述蒸发源上预设位置的多个第二防呆件连接。所述蒸镀坩埚具有防呆作用，可以防止蒸镀坩埚被错误安装，确保蒸镀坩埚中容纳的材料能按既定的工艺顺序进行蒸镀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海升翕光电科技有限公司，未经上海升翕光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202223552023.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有防护结构插片式光分路器
- 下一篇：腰麻针固定器
- 同类专利
- 专利分类
