[实用新型]等离子炬阳极、等离子炬及废气处理装置有效

专利信息
申请号: 202223533740.0 申请日: 2022-12-28
公开(公告)号: CN219204768U 公开(公告)日: 2023-06-16
发明(设计)人: 张伟明;孙伟男 申请(专利权)人: 上海盛剑半导体科技有限公司
主分类号: H05H1/34 分类号: H05H1/34;B01D53/32;H05H1/48
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 梁晓婷
地址: 201000 上海市嘉定区嘉*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型的实施例提供了一种等离子炬阳极、等离子炬及废气处理装置,涉及等离子炬领域。旨在改善等离子炬电弧不够稳定的问题。等离子炬阳极包括阳极本体;阳极本体设置有贯通第一端以及第二端的电弧通道,电弧通道包括依次连通且同轴设置的至少两个通道段,相邻的两个通道段中,靠近第二端的通道段的直径大于靠近第一端的通道段的直径;相邻的两个通道段的直径比例范围为1/2‑7/10。等离子炬包括等离子炬阳极。废气处理装置包括等离子炬。相邻的两个通道段的直径比例在1/2‑7/10之间时,等离子炬电弧不会产生涡流,可以保持在较稳定状态,也不会有高温区。
搜索关键词: 等离子 阳极 废气 处理 装置
【主权项】:
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